在《星战前传Ⅲ》中，特效镜头超过2200个，打破了从前任何一部“星战”的纪录，甚至把《指环王》都比了下去。《星战Ⅲ》的特技镜头由ILM(工业灯光与魔幻，简称“工业光魔”)电影效果制作公司完成，因为庞大的特效处理工作，影片在特技方面的投资达到了1.5亿美元。
1975年，卢卡斯着手制作《星球大战：新希望》时，找遍全美国都没有一家理想的
电影效果制作公司，于是他决定由自己来担当这个“魔术师”的角色，ILM由此诞生。30年过去了，ILM已从一个靠传统手绘模型制造电影特效的工作室，发展成为世界上最大最先进的数码电影效果制作公司，先后14次获得奥斯卡视觉效果金奖。
来自11个国家的1650人参与了第三集的制作。影片中有65个真人演员和42个用电脑制作的角色。与前两集不同，演员的拍摄工作全部在摄影棚里完成。虽然演员们“足不出户”，影片却将带观众走遍8个不同的星球。
四大炫目场面
克洛桑空战
炫目指数：
影片一开头，一场大型的特技空战就把ILM的实力好好炫了一把。银河共和国首都克洛桑上空正上演一场战争。贸易联盟的巨大太空中转站和共和国大型巡洋舰，将布满整个克洛桑上空，成千上万的各色小号飞行器倾巢而出，到处爆发着闪耀的激光和火花。奥比旺和阿纳金奉命解救被劫持的帕丁议长，两位绝地武士驾机在死亡中穿梭。
卢卡斯力邀ILM的约翰·科诺尔和罗芝·休伊特共同承担繁重的动作和特效任务。这场克洛桑空战被称为最浩大的一个场景，共花费了6个星期的时间进行拍摄，动用上百件道具模型，后期处理用了4个星期的时间。这也是第三集中筹备时间最长的一组镜头，拍摄之前总共设计了4套方案。这场空战不同于其它所有星战系列的地方在于，背景不是在外层空间，而是大气层里。“这样我们就有机会制造飞船的尾烟和着火之类的效果，而在外层空间这些都是不可能的。”科诺尔不吝啬自我褒奖之言：“这将成为电影史上新的里程碑。”
阿纳金“蜕变”
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要问星战迷们最为期待的一幕，便是阿纳金怎样变成了黑武士达斯·维达。从这一刻起，绝地武士阿纳金已经死亡，取而代之的是达斯·维达，一个半人半机器的怪物。几乎所有星战迷都知道黑武士的武士服不仅仅是用来吓人的，还是一套维持生命的装置——在遭受濒临死亡的重伤后，阿纳金变得面貌狰狞，肢体残缺。在制造这个场景时，罗芝给阿纳金打上高聚光灯，他原本躺在金属台子上的身体缓缓上升，“看上去整个环境既像实验室，又像行刑室，”罗芝说：“让人看着非常心酸。”
尤达的好皮肤
炫目指数：
动画部总监寇曼指出，计算机合成的绝地大师尤达也许是他们最重要的成就。“在《星战Ⅱ》里，我们第一次用数码合成尤达。这回，尤达的皮肤看起来更真实。”在《星战Ⅱ》中，尤达已经会用光剑战斗，而在《星战Ⅲ》中，他已经升级为绝地大师，技术人员给他设计了更精妙的动作技巧。
云南山水星球
炫目指数：
作为《星战》系列的最后一次航行，第三集的故事将在八个不同的星球上展开太空跳跃，一些大名鼎鼎的星球终于在片中一展芳容了——伍基人的母星卡西科就是ILM重点关照的对象之一。片中卡西科的主景拍摄自我国云南省，特有的喀斯特地貌是云南山水的不二标志。负责外景筹划的布瑞安·格南德(Brian Gernand)透露，选择云南完全是卢卡斯本人的意思，此前他曾多次表示过对中国山水画的喜爱。
剧组曾于2003年6月到中国选景，最后相中了云南省山峦起伏的景色。在尤达大师和伍基人商讨战事一幕中，工作人员用自家的电脑技术为云南风光重新上色，加强了山峰的层次感，同时还为这些景色加上了雾霭的效果，让夜色中的远山，呈现出卢卡斯“山水画”的理想姿态。记者 谢晓 伍洁敏 特派戛纳记者 陈弋弋 通讯员 陈苗华
